Специальное покрытие защитной пленки ультразвукового распыления перед резкой кремниевой пластины

 

 

 

Доказано, что ультразвуковое напыление специального покрытия защитной пленкой перед резкой кремниевых пластин является надежным, повторяемым и эффективным методом нанесения различных химикатов на кремний перед резкой, шлифовкой и полировкой для защиты пластины и ударов. К распространенным химическим веществам относятся Z-Coat, ПММА и другие легко удаляемые химические вещества. Систему сопел FUNSONIC можно настроить в соответствии с конкретными требованиями клиентов к покрытиям и задачами, связанными с защитными пленками перед резкой кремниевых пластин.
Специальное покрытие защитной пленки ультразвукового напыления перед резкой кремниевых пластин может быть нанесено на любую форму и размер, контролируя толщину от субмикрона до более 100 микрон. Система покрытия является реальной альтернативой другим технологиям нанесения покрытий, таким как ротационное и традиционное напыление.

 

 

 

 

 

Ультразвуковые сопла имеют важное применение в фотолитографической обработке. Производители полупроводников используют технологию ультразвукового распыления для распыления проявителя фоторезиста на подложки чипов из кремния и арсенида галлия, которые представляют собой химическое вещество, которое может отображать схемы оптического шагового изображения. Процесс распыления включает установку сопла над чипом, а затем управление ультразвуковым соплом с помощью трех-осей XYZ и серводвигателя для равномерного распределения покрытия. Поскольку распыление ультразвуковой форсунки мягкое и непрерывное, оно может улучшить химическую активность, повысить эффективность разработки, а также уменьшить отскок и отходы материала. Данные показывают, что технология ультразвукового напыления позволяет сэкономить до 70% материалов и улучшить контроль критических размеров.
По сравнению с обычным центрифугированием преимущество ультразвуковых насадок состоит в том, что они могут более равномерно распределять вещества и минимизировать зависимость распределения жидкости от натяжения пола. Традиционное центробежное покрытие предполагает нанесение веществ в форме луж или струй на элемент чипа, а затем распыление их на пол с помощью центробежной силы. Этот метод требует специального регулирования температуры и расхода испарения растворителя, чтобы обеспечить целостность и однородность покрытия. Ультразвуковые сопла, с другой стороны, распыляют ткань на всю поверхность чипа, образуя непрерывную тонкую пленку. Таким образом, нет необходимости учитывать испарение растворителя и поверхностные силы, а также не будет распыления или осаждения на обратной стороне.

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

горячая этикетка : ультразвуковое распыление специального покрытия защитной пленки перед резкой кремниевых пластин, Китай ультразвуковое распыление специального покрытия защитной пленки перед резкой кремниевых пластин производители, поставщики, завод