Система покрытия полупроводникового фоторезиста ультразвуковой литографией

Ультразвуковое напыление — это простой, экономичный и воспроизводимый процесс нанесения фоторезистного покрытия при фотолитографической обработке пластин. Система покрытия полупроводникового фоторезиста ультразвуковой литографией FUNSONIC использует передовую технологию наслоения для точного контроля скорости потока, скорости нанесения покрытия и количества осаждения. Низкоскоростное формование распылением определяет распыление как точный и контролируемый рисунок, позволяющий избежать избыточного распыления и создавать очень тонкие и однородные слои.
Система покрытия полупроводникового фоторезиста с помощью ультразвуковой литографии FUNSONIC имеет преимущества в нанесении более равномерных покрытий, особенно вдоль верхней части боковых стенок канавок с высоким соотношением сторон и V-образных структур канавок. Центробежное вращение не может нанести равномерные покрытия вдоль боковых стенок, не накапливая при этом слишком много фоторезиста на дне полости.
 

1. Равномерное покрытие пленкой различных контуров поверхности.
2. Возможность покрытия канавок с большим удлинением с превосходной однородностью.
3. Незасоряющийся распыляющий спрей.
4. Способен наносить высокооднородные тонкие слои толщиной в один микрон.
5. Повторяемый процесс распыления.

горячая этикетка : система покрытия полупроводникового фоторезиста ультразвуковой литографией, Китай система нанесения покрытия ультразвуковой литографии полупроводникового фоторезиста производители, поставщики, завод