Ультразвуковая опрыскивающая система защитного пленки перед разрезанием кремниевой пластины
Доказано, что система защитного пленки ультразвукового аэрозоля до резки кремниевой пластины является надежным, повторяющимся и эффективным методом для применения различных химических веществ к кремнию перед резкой, шлифованием и полировкой для защиты пластины и ударов. Общие химические вещества включают Z-Coat, PMMA и другие легко съемные химические вещества. Система сопла Funsonic может быть настроена для удовлетворения конкретных требований и проблем клиентов для сокращения защитных фильмов.
Было доказано, что ультразвуковые системы распыления подходят для различных применений, которые требуют однородных и повторяющихся материалов. Управляя толщиной от субмикрона до более чем 100 микрон и способных покрывать любую форму или размер, системы покрытия являются жизнеспособной альтернативой другим методам покрытия, таким как ротарие и традиционное распыление.
Система покрытия Funsonic может точно контролировать скорость потока, скорость покрытия и количество осаждения, используя простые методы наслоения. Низкоскоростное распылительное формование определяет атомированный спрей как точный и контролируемый рисунок, чтобы избежать избыточного распыления и производить очень тонкие и однородные слои.
Преимущества использования технологии ультразвукового покрытия для процессов защитного покрытия пластин включают:
1. Быстрое и равномерное пленку с различными поверхностными контурами.
2. Высокая гибкость в химических и покрывающих свойствах.
3. Незащитный распылительный спрей.
4. Высокая эффективность передачи с минимальными отходами.
5. Высоко воспроизводимый процесс зрелого распыления.
Система ультразвукового распыления полиимидных и фоторезистских
Система покрытия фоторезиста для полупроводниковой литографии


