Система ультразвукового распыления полиимидных и фоторезистских

Было доказано, что ультразвуковые распылительные системы подходят для различных применений, которые требуют однородных и повторяемых фоторезистских или полиимидных пленочных покрытий. Управляя толщиной от субмикрона до более чем 100 микрон и способных покрывать любую форму или размер, системы покрытия являются жизнеспособной альтернативой другим методам покрытия, таким как ротарие и традиционное распыление.

Общие применения полиимидных и фоторезистских покрытий включают, но не ограничиваются MEMS, линзами, микрофлюидными устройствами, микроэлектроникой и фильтрами. Системы покрытия способны покрывать плоские и 3D -субстраты, обычно включающие кремниевые чипсы, стекло, керамику и металлы.

Ультразвуковое распыление - это простой, экономичный и воспроизводимый процесс для фоторезистского и полиимидного покрытия. Система ультразвукового покрытия может точно контролировать скорость потока, скорость покрытия и количество осаждения, используя простые методы наслоения. Низкоскоростное распылительное формование определяет атомированный спрей как точный и контролируемый рисунок, чтобы избежать избыточного распыления и производить очень тонкие и однородные слои.

Преимущества ультразвуковых полиимидных и фоторезистских покрытий:

1. Единое пленка охват различных поверхностных контуров.
2. Высокая гибкость в химических и покрывающих свойствах.
3. Незащитный распылительный спрей.
4. Высокая эффективность передачи с минимальными отходами.
5. Высоко воспроизводимый процесс зрелого распыления.

Ультразвуковая система распыления использует высокочастотную звуковую вибрацию для генерации мягкого тумана, состоящего из математически определенных капель. Закупорка устраняется, потому что для генерации распыления не используется давление, а капли имеют очень узкий размер распределения капель, что дополнительно способствует однородности слоя осаждения.