Ультразвуковая технология распыления для отложения вакуумного пара

Ультразвуковая система распыления распыления атомизации используется для интеграции в вакуумную камеру. Благодаря экспериментам было доказано, что уникальная конструкция ультразвуковой системы распыления распыления атомизации может быть интегрирована в вакуумную герметичную платформу, подходящую для таких применений, как осаждение полимерного паров (PVD) и металлическое химическое химическое осаждение пара (MOCVD). Характерная низкоскоростная атомизация, генерируемая системой распыления ультразвуковой атомизации, может создавать паровное облако с плотным распределением капли и размером капель, контролируемой частотой. В связи с тем, что ультразвуковые сопла с распылением работают путем преобразования высокочастотных звуковых волн в механические вибрации, жидкость в контакте с поверхностью сопла распыляется без добавления воздуха или газа, поэтому целостность вакуумной камеры не ослаблена во время процесса распыления.

Технология ультразвукового генератора, интегрированная в систему распыления ультразвуковой атомизации, обеспечивает необходимую электрическую энергию для атомизации и оснащена расширенной функцией балансировки нагрузки, которая может автоматически адаптироваться к различным условиям вакуума, тем самым поддерживая наиболее стабильные характеристики распыления в процессе осаждения вакуума.

Система распыления ультразвуковой распыления атомизации подходит для вакуумных среда высокой температуры и имеет функцию охлаждения и функцию мониторинга температуры, чтобы обеспечить соответствующую тепловую защиту.

Преимущества применения вакуумной камеры:

• Электронные устройства, предназначенные для балансировки нагрузки
• Высокая температурная защита и мониторинг
• Уникальное вакуумное состояние ограничения по потоку жидкости
• Атомизация генерируется при отсутствии воздуха/газа, поддерживая целостность вакуума