Ультразвуковое оборудование для пиролиза и система покрытия TCO

Однородные тонкоплентные оксид олова индия (ITO), легированный алюминиевый оксид цинка (AZO), оксид цинка (ZNO) и фториновые оксидные слои, легирующие фторином, обычно производятся с помощью технологии ультразвукового распыления пиролиза. Этот уникальный процесс требует специализированного оборудования для покрытия для создания необходимой толщины и формы покрытия, а также для распыления коррозивных решений в высокотемпературных средах.

Во время высокотемпературного ультразвукового пиролиза распыления раствор предшественника (такой как оксид алюминиевого цинка) распыляется на подложку, нагревается до {1}} степень. Растворитель испаряется во время транспортировки, а кристаллическая пленка ZnO растет на поверхности субстрата, обычно кальций натрия или другого стекла. Температура субстрата обычно определяет морфологические характеристики пленки.

Ультразвуковое распылительное осаждение предоставляет производителям экономически эффективную альтернативу вакуумному осаждению и распылению, с более высокой эффективностью переноса. Размер капель, генерируемый ультразвуковым соплами, атомизирующей насадкой, очень равномерный, что может достичь оптимального размера капель для реакции пиролиза, и все капли будут реагировать одновременно одинаково в процессе осаждения. Будь то исследование и разработка или массовое производство, это принесет эффективные процессы производства TCO.

Использование Funsonic Ultrasonic сопла преодолевает процесс вызова распыления высоко коррозийных кислот. Сопло состоит из коррозионных структурных материалов и обладает свойствами отсутствия блокировки, повторяемости и долгого срока службы. Он может даже распылять высоко коррозийную соляную кислоту или растворы гидрофлуорической кислоты.

Преимущества ультразвуковой системы пиролиза для покрытия TCO:

1. По сравнению с процессом CVD (химического отложения паров) ультразвуковой пиролиз спрея является простым, гибким и экономически эффективным.
2. Проверенный опыт на покрытие TCO.
По сравнению с другими методами опрыскивания ультразвуковые сопла могут наносить более однородные слои.
4. Легко регулировать и повторяемые параметры покрытия.
5. Полностью интегрированная запатентованная технология ультразвуковых сопла и доставку жидкости, обеспечивая полное решение для покрытия.
Альтернативный низкотемпературный распылительный пиролиз (250 градусов и ниже) постоянно появляются, а на химических веществах, которые не нуждаются в высокотемпературных целевых субстратах.