Введение рассеяния ультразвукового сопла

 

Расселенные форсунки используют воздух/газ низкого давления для производства равномерных широких распылений, каждый сопла способен до 9,8 дюйма (25 сантиметров), в зависимости от расстояния от подложки. Скорость воздушного потока контролируется, чтобы обеспечить низкое или высокое воздействие распылительного распыления на продукт или подложку. Несколько форсунок, соединенных последовательно, могут достичь бесконечной ширины. Дизайн рассеяния сопла используется для очень повторяемых широких узоров в тонких сопелах.

Ультразвуковое сопло рассеяния - это ультразвуковое распылительное сопла с циклоном конуса. Он использует технологию сопла ультразвукового атомизации, а с помощью специальной конструкции канала потока вихревого потока газ носителя преобразуется в равномерный вращающийся воздушный поток, так что ультразвуковая атомизация жидкого тумана рассеивается в форме циклона, расширяя спрей. Площадь распылителя. Ультразвуковые форсунки также могут быть распылены на вертикальные или изогнутые поверхности и другие угловые субстраты.

Типичным применением рассеяния ультразвуковых форсунок является фоторезистское покрытие на полупроводниковых чипах, где фоторезист опрыскивается на полупроводниковые чипы. Из -за ротационного рассеяния тумана, излучаемого ультразвуковым сопло рассеятельного типа, равномерная фоторезистская пленка может быть сформирована не только на плоскости пластины, но и на боковых стенах и углах микроструктуры пластины. Кроме того, ультразвуковое сопла типа рассеяния также можно использовать для тонкоплентных покрытий солнечных батарей, покрытий солнечных элементов кальция, покрытий трансмиссии AR и отражения пленки, покрытий теплоизоляционной пленки, поверхностных покрытий сверхгидрофобных покрытий, покрытий PCB Flux и других применений.

 

 

Принцип:

 

Ультразвуковые форсунки преобразуют высокочастотные звуковые волны в механическую энергию через пьезоэлектрические преобразователи, а затем превращают механическую энергию в жидкость. Эта продольная вибрация вверх и вниз генерирует стоящие волны в жидкой пленке на кончике ультразвукового сопла, где амплитуда этих волн может контролироваться генератором мощности. Эти стационарные жидкие волны могут простираться вверх от верхней части ультразвуковой форсунки, и когда капли покидают поверхность распыливания сопла, они разлагаются в однородном мелком тумане капель размером с микрометра.

В отличие от форсунок давления, ультразвуковые форсунки не используют высокое давление, чтобы заставить жидкость через небольшое отверстие для получения распыления. Жидкость входит через относительно большой центр сопла без давления и распыливается ультразвуковой вибрацией внутри сопла.

Каждое ультразвуковое сопло работает с определенной резонансной частотой, которая определяет средний размер капли. Разница в размере капель очень мала, и ее распределение может быть точно предсказано в определенном диапазоне с помощью математических расчетов. Например, сопло 120 кГц создает средний размер каплей 18 микрон при распылении воды. Чем выше частота, тем меньше уменьшение среднего значения.

 

 

Преимущество:

 

1. Большое распыление поверхности, ширина распыления: 40-150 мм

2. Coating uniformity:>95% однородность

3. Сохранить сырье: скорость использования сырья составляет более 85%, что в четыре раза больше, чем у традиционных двух жидкости распыления

4. Высокий точный контроль толщины покрытия: от 20 нм до десятков микрометров покрытия может быть приготовлен с точным контролем толщины покрытия

5. тонкие атомированные частицы

6. равномерно распыленные частицы

7. Может быть распыляется с перерывами или непрерывно

8. Ультра -низкий распылитель

9. Не заблокирует сопло

10. против коррозионного сопла

11. Высокий контрольный распыление с высокой точностью